阮双琛：建议重点支持深圳技术大学建半导体微纳光电加工中心 ... ... ...

　　2月13日，深圳市政协七届三次会议开幕。深圳市政协常委、深圳技术大学校长阮双琛针对半导体产业发展问题，建议重点支持深圳技术大学建半导体微纳光电加工中心，鼓励和支持全市企业使用深圳技术大学半导体微纳光电加工平台和集成电路中试平台，打通半导体与集成电路产业链上下游，强化“产业链、创新链、人才链、教育链”深度有机协同。

　　“芯片小批量试产的公共服务需求量巨大”

　　据悉，国内现有的工艺平台大多不具备完整的化合物半导体的设备和工艺能力，研发水平低，光电芯片总体水平落后，尚未形成完整的生态系统。亟须建立集前沿研发、技术转化、产业服务、人才培养于一体的生态链，建成一个系统完整、职业化运营的国际领先的芯片加工平台。

　　在阮双琛看来，深圳市众多大中小型光电子、MEMS及相关下游企业对光电及MEMS芯片的需求量巨大，而大量中小型企业因自身研发加工能力有限，需要寻求试产制造服务，芯片小批量试产的公共服务需求量巨大。与微电子的标准化流程不同，光电和MEMS芯片制造基本是定制化工艺，很难依靠外面流片。

　　阮双琛还指出：“高校具有完整化合物半导体工艺能力的平台更少。深圳市现有的微纳平台主要在几家高校，侧重基础研究，没有完备的(化合物)半导体设备和工艺，而且受运行机制、平台定位、人员队伍、资金支持等因素限制，服务半导体产业难度大。”

　　建议重点支持深技大建半导体微纳光电加工中心

　　“深圳技术大学集成电路与光电芯片学院是大湾区第一所集成电路学院，具备与企业合作开发芯片的实践经验，使用、建设、运营半导体平台的团队经验丰富。”阮双琛还提到，该学院院长宁存政教授带领课题组开展了大量研究，已经取得多项研究成果：芯片激光器、硅基光电子集成方面，片上半导体纳米激光器达到国际领先水平；射频芯片方面，与多家地方企业合作开展SAW/BAW芯片研究，申请相关中国发明专利3项。

　　该校拟建设的半导体微纳光电加工中心致力于打造成深圳市的公共技术服务平台，助力企业、科研机构半导体芯片制造工艺开发以及器件研制，促进全市的创新创业和人才培养。中心包括百级、千级和万级超净区域，配备光刻、薄膜、刻蚀、炉管等生产和测试设备，具备光电芯片、MEMS芯片、第三代半导体芯片、新型微纳器件的制备能力，兼具小批量样品制造的验证功能。现已完成装修设计方案，需投资3.6亿元，2年后建成使用。

　　拟建设的集成电路中试线项目通过产业链设计、装备、材料、制造的协同创新，支持上游芯片设计和下游芯片封测发展，为国产集成电路材料和装备的验证提供支持，致力打造产教深入融合、芯片设计和制造高度结合的集成电路产业公共技术平台，支持本地区广大半导体企业在成熟工艺节点上快速形成产品，为本地区批量培养工程技术人员和运营团队，为深圳市及周边地区集成电路产业的发展提供基础性支撑。

　　同时，阮双琛还建议深圳市委、市政府从服务中芯深圳、华润微、鹏芯微、晟维旭等集成电路核心制造项目、形成技术迭代内循环的集群虚拟垂直整合生态的战略布局统筹考虑，抢抓战略机遇窗口期，从先期资金投入上，以一次性资助3亿元代替分批资助方式，重点支持深圳技术大学尽快建设半导体微纳光电加工中心，同时推动产业与高校科研机构的合作，建设开放性的集成电路中试线。

　　引导全市企业使用深技大公共技术服务平台

　　阮双琛还建议市委、市政府在制定“20+8”产业规划、产业政策时，鼓励和支持全市企业使用深圳技术大学半导体微纳光电加工平台和集成电路中试平台，解决深圳市在培育集聚国产半导体材料设备企业(项目)缺失战略性试验线及中试线的掣肘问题，打通半导体与集成电路产业链上下游，强化“产业链、创新链、人才链、教育链”深度有机协同，推动产教融合的高质量发展，为我国在半导体与集成电路领域摆脱关键材料和核心设备“受制于人”局面做出深圳先行示范贡献。